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Confronto tra PECVD e CVD termica: funzionamento a bassa temperatura, qualità del film e applicazioni per la scienza dei semiconduttori e dei materiali.
Scopri come il PECVD viene utilizzato nella fabbricazione di semiconduttori, nella produzione di celle solari e nei rivestimenti ottici per film sottili di alta qualità a bassa temperatura.
Il PECVD opera a 0,1-10 Torr, un intervallo di pressione critico per un plasma stabile e una deposizione di film uniformi e conformi su strutture complesse.
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