Forno CVD & PECVD
Multi zone di riscaldamento CVD tubo forno macchina per attrezzature di deposizione di vapore chimico
Numero articolo : KT-CTF14
Il prezzo varia in base a specifiche e personalizzazioni
- Temperatura massima
- 1400℃
- Zona di riscaldamento
- 2x450 mm
- Precisione del controllo della temperatura
- ±1℃
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Scoprite i forni tubolari avanzati CVD a più zone di KINTEK
KINTEK si avvale di un'eccezionale attività di ricerca e sviluppo e di una produzione interna per fornire a diversi laboratori soluzioni avanzate di forni ad alta temperatura. I nostri forni tubolari CVD a più zone sono progettati per garantire precisione, affidabilità e adattabilità, per potenziare i vostri processi di ricerca e produzione.
Vetrina dei prodotti: Forno tubolare CVD a più zone di riscaldamento
Schema della struttura tipica della camera di reazione di un'apparecchiatura PECVD tubolare 1. Foro di scarico Foro di scarico;2. Flangia di coda;3. Flangia di raffreddamento dell'acqua di coda;4. Flangia di tenuta della coda;5. Flangia di fissaggio della coda;6. Asta dell'elettrodo;7. Barca di grafite;8. Tubo del forno al quarzo;9. Flangia di fissaggio anteriore;10. Flangia anteriore di raffreddamento dell'acqua;11. Flangia di ingresso aria anteriore;12. Porta del forno
Che cos'è un forno tubolare CVD a più zone?
Un forno tubolare multizona per la deposizione di vapore chimico (CVD) è un'apparecchiatura di laboratorio specializzata progettata per depositare film sottili su substrati attraverso reazioni chimiche di gas o vapori. Il vantaggio fondamentale del design "multizona" risiede nelle zone di riscaldamento multiple e controllate in modo indipendente. Ciò consente una manipolazione precisa del profilo di temperatura all'interno del forno, un fattore cruciale per molti processi CVD, poiché la temperatura influenza direttamente le proprietà del film depositato. Questi forni sono indispensabili sia per la ricerca e lo sviluppo all'avanguardia che per le applicazioni di produzione più impegnative.
Perché scegliere i forni CVD multizona di KINTEK?
I forni CVD a più zone di KINTEK sono progettati per offrire prestazioni superiori e adattabilità ai vostri processi critici. Ecco come potenziamo il vostro lavoro:
- Precisione di temperatura senza pari: Le zone di riscaldamento indipendenti consentono di creare campi di temperatura costante o gradienti di temperatura controllati con precisione, essenziali per la deposizione uniforme e la sintesi di materiali specializzati.
- Controllo avanzato del processo: Il controllo della temperatura programmabile PID garantisce un'eccellente precisione. Unitamente alle funzionalità di controllo remoto e centralizzato, si ottengono flessibilità e facilità di monitoraggio.
- Erogazione del gas stabile e accurata: I flussimetri di massa MFC (Mass Flow Controller) ad alta precisione assicurano velocità di erogazione del gas precise e stabili, comprese le opzioni di premiscelazione dei gas di partenza, essenziali per una qualità costante del film.
- Ambiente ad alto vuoto affidabile: Le robuste flange da vuoto in acciaio inox con varie porte di adattamento garantiscono un'eccellente tenuta, raggiungendo e mantenendo gli elevati gradi di vuoto necessari per i delicati processi CVD.
- Funzionamento e analisi dei dati facili da usare: Alcuni modelli, come il KT-CTF14 Pro, sono dotati di un controller touch screen TFT da 7 pollici che semplifica l'impostazione dei programmi e consente una facile analisi dei dati storici.
- Versatilità per diverse applicazioni: I nostri forni non si limitano alla CVD, ma sono ideali anche per la diffusione, la ricottura, la sinterizzazione e altri trattamenti termici sotto vuoto o in atmosfera controllata.
- Design ad alta efficienza energetica: Grazie all'isolamento in fibra ceramica di alta qualità e alla struttura a doppio strato, i nostri forni riducono al minimo le perdite di calore, riducendo le temperature esterne e risparmiando energia.
- Materiali durevoli e personalizzabili: I tubi dei forni sono disponibili in vari materiali, come acciaio resistente al calore, vetro di quarzo ad alta purezza e ceramica, per adattarsi a diversi ambienti chimici e requisiti di temperatura.
Principio di funzionamento
Il forno tubolare CVD a zone di riscaldamento multiple utilizza il processo di deposizione di vapore chimico (CVD) per depositare film sottili su substrati. I precursori gassosi, in genere composti metallo-organici e/o idruri, vengono introdotti nella camera del forno. Questi precursori reagiscono chimicamente a temperature controllate per formare un film solido sul substrato. Le zone di riscaldamento multiple del forno consentono un controllo preciso della temperatura di deposizione e del gradiente di temperatura sul substrato, permettendo la deposizione di film di alta qualità con proprietà personalizzate come spessore, composizione e cristallinità. Un sistema di vuoto è integrato per rimuovere le impurità e controllare la pressione di deposizione, garantendo condizioni di processo ottimali.
Applicazioni
I nostri forni tubolari CVD a zone di riscaldamento multiple sono ampiamente utilizzati in vari settori avanzati, tra cui:
- Deposizione chimica da vapore (CVD): Crescita di film sottili per dispositivi elettronici, semiconduttori, celle solari, rivestimenti e nanomateriali.
- Diffusione: Drogaggio preciso di semiconduttori e metalli.
- Ricottura: Trattamento termico dei materiali per migliorarne le proprietà strutturali e fisiche.
- Sinterizzazione: Legame di materiali in polvere mediante calore e pressione controllati per formare strutture solide.
- Termo-trattamenti: Un'ampia gamma di processi di riscaldamento e raffreddamento controllati per la ricerca e la modifica dei materiali.
- Analisi e determinazione degli elementi: Preparazione di campioni per scopi analitici.
- Trattamento dei materiali: Tempra, ricottura e rinvenimento di piccoli pezzi di acciaio, sviluppo di ceramiche elettroniche e altri nuovi materiali.
Specifiche tecniche
| Modello del forno | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| Temperatura massima | 1400℃ |
| Temperatura di lavoro costante | 1300℃ |
| Materiale del tubo del forno | Tubo Al2O3 di elevata purezza |
| Diametro del tubo del forno | 60 mm |
| Zona di riscaldamento | 2x450mm |
| Materiale della camera | Fibra policristallina di allumina |
| Elemento di riscaldamento | Carburo di silicio |
| Velocità di riscaldamento | 0-10℃/min |
| Coppia termica | Tipo S |
| Regolatore di temperatura | Controllore PID digitale/controllore PID touch screen |
| Precisione del controllo della temperatura | ±1℃ |
| Unità di controllo preciso del gas | |
| Misuratore di portata | Misuratore di portata massica MFC |
| Canali gas | 4 canali |
| Portata |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
| Linearità | ±0,5% F.S. |
| Ripetibilità | ±0,2% F.S. |
| Linea di tubi e valvola | Acciaio inossidabile |
| Pressione massima di esercizio | 0,45MPa |
| Controllore del flussometro | Controllore digitale a manopola/controllore touch screen |
| Unità di vuoto standard (opzionale) | |
| Pompa per vuoto | Pompa per vuoto rotativa a palette |
| Portata della pompa | 4L/S |
| Porta di aspirazione del vuoto | KF25 |
| Vacuometro | Vacuometro Pirani/Resistenza al silicone |
| Pressione nominale del vuoto | 10Pa |
| Unità per alto vuoto (opzionale) | |
| Pompa per vuoto | Pompa rotativa a palette+pompa molecolare |
| Portata della pompa | 4L/S+110L/S |
| Porta di aspirazione del vuoto | KF25 |
| Vacuometro | Vacuometro composto |
| Pressione nominale del vuoto | 6x10-5Pa |
| Le specifiche e le configurazioni di cui sopra possono essere personalizzate | |
Pacchetto standard
| No. | Descrizione | Quantità |
|---|---|---|
| 1 | Fornace | 1 |
| 2 | Tubo di quarzo (o altro materiale secondo l'ordine) | 1 |
| 3 | Set di flange per il vuoto | 2 |
| 4 | Blocco termico per tubi | 2 |
| 5 | Gancio del blocco termico a tubo | 1 |
| 6 | Guanto resistente al calore | 1 |
| 7 | Unità di controllo preciso del gas (se ordinata) | 1 |
| 8 | Unità di vuoto (se ordinata) | 1 |
| 9 | Manuale d'uso | 1 |
Una profonda personalizzazione per le vostre esigenze
KINTEK eccelle nella fornitura di soluzioni di forno profondamente personalizzate per soddisfare con precisione requisiti sperimentali e di produzione unici. Oltre alle configurazioni standard, offriamo un'ampia gamma di configurazioni e modifiche opzionali:
- Rilevamento e monitoraggio dei gas in provetta (ad es. H2, O2).
- Sistemi di monitoraggio e registrazione della temperatura del forno indipendenti.
- Porta di comunicazione RS 485 per il controllo remoto del PC e l'esportazione dei dati.
- Versatili opzioni di controllo della portata di alimentazione del gas, compresi vari flussimetri di massa e flussimetri a galleggiante.
- Controllori di temperatura touch screen avanzati con interfacce di facile utilizzo e ampie capacità di programmazione.
- Configurazioni complete di stazioni di pompaggio per alto vuoto, che comprendono pompe per vuoto a palette, pompe molecolari, pompe a diffusione e altro ancora.
- Dimensioni personalizzate dei forni, configurazioni delle zone di riscaldamento e scelta dei materiali.
Diteci qual è la vostra sfida, e noi progetteremo la soluzione.
Collaborate con KINTEK per le vostre soluzioni ad alta temperatura
Con una solida base nella ricerca e sviluppo e nella produzione interna, KINTEK si dedica a fornire ai laboratori di tutto il mondo sistemi avanzati di forni ad alta temperatura, tra cui forni a muffola, forni tubolari, forni rotativi, forni sottovuoto e in atmosfera e sistemi CVD/PECVD/MPCVD specializzati. Il nostro impegno per una profonda personalizzazione assicura che riceviate un forno perfettamente adattato ai vostri specifici obiettivi sperimentali.
Siete pronti a migliorare le vostre capacità di ricerca e lavorazione dei materiali? Discutete i vostri requisiti con il nostro team di esperti.
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FAQ
Cos'è E Come Funziona Un Forno A Tubi?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Dei Forni Tubolari Multizona?
Che Cos'è Un Forno A Tubi Verticale?
Che Cos'è Un Forno A Induzione Sotto Vuoto?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Di Un Forno A Vuoto?
A Cosa Serve Un Forno Ad Atmosfera?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Dei Forni A Tubi?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Dei Forni Tubolari Multizona?
Quali Sono Le Applicazioni Di Un Forno A Tubi Verticali?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Dei Forni A Induzione Sottovuoto?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Di Un Forno A Vuoto?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Di Un Forno Ad Atmosfera?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Tubi?
Come Funziona Un Forno Tubolare Multizona?
Quali Sono I Vantaggi Di Un Forno Tubolare Verticale?
Come Funziona Un Forno A Induzione Sottovuoto?
Come Funziona Un Forno A Vuoto?
Come Funziona Un Forno Ad Atmosfera?
Quali Tipi Di Forni Tubolari Sono Disponibili?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Tubi Multizona?
Come Funziona Un Forno A Tubo Verticale?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Induzione Sottovuoto?
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Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno Ad Atmosfera?
Quali Intervalli Di Temperatura Possono Raggiungere I Forni A Tubo?
Quali Sono I Tipi Di Forni Tubolari Multizona Disponibili?
Quali Tipi Di Forni Tubolari Verticali Sono Disponibili?
Quali Sono I Tipi Di Forni A Induzione Sottovuoto Disponibili?
Quali Tipi Di Materiali Possono Essere Lavorati In Un Forno A Vuoto?
Quali Tipi Di Gas Possono Essere Utilizzati In Un Forno Ad Atmosfera?
I Forni Tubolari Possono Operare In Atmosfere Diverse?
Perché Scegliere Un Forno Tubolare Verticale Rispetto A Uno Orizzontale?
Perché Il Controllo Della Temperatura è Importante Nei Forni A Induzione Sotto Vuoto?
Qual è La Differenza Tra Forni A Vuoto A Parete Calda E A Parete Fredda?
Quali Sono Le Caratteristiche Di Sicurezza Disponibili Nei Forni Ad Atmosfera Avanzati?
Cosa Rende Speciali I Forni Tubolari KINTEK?
Quali Intervalli Di Temperatura Possono Raggiungere I Forni A Tubi Verticali?
Quali Materiali Possono Essere Lavorati In Un Forno A Induzione Sotto Vuoto?
I Forni A Vuoto Possono Essere Personalizzati Per Applicazioni Specifiche?
I Forni A Tubi Verticali Sono Personalizzabili?
In Che Modo L'ambiente Sottovuoto Favorisce La Lavorazione Dei Materiali?
Scheda Tecnica del Prodotto
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