Il forno per tubi a 3 zone è un'apparecchiatura versatile progettata per applicazioni di lavorazione termica di precisione come la ricottura e la deposizione di vapore chimico (CVD).È dotato di tre zone di riscaldamento controllate in modo indipendente, che consentono un'eccellente uniformità della temperatura e un controllo del gradiente.Il forno può ospitare campioni di dimensioni fino a 60 mm e supporta l'erogazione di gas a varie pressioni, comprese le condizioni atmosferiche e sub-atmosferiche.Le caratteristiche principali includono la gestione flessibile del gas, la generazione minima di particelle e la compatibilità con gas di processo come Ar, 4%H2 in Ar e N2.Queste caratteristiche lo rendono ideale per la ricerca e le applicazioni industriali che richiedono ambienti termici controllati.
Punti chiave spiegati:
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Capacità di trattamento termico flessibile
- Il forno tubolare a 3 zone è progettato per la ricottura e la deposizione chimica da vapore (CVD) a temperature inferiori a 1000°C.
- Tre zone di riscaldamento controllate in modo indipendente consentono gradienti di temperatura precisi, fondamentali per un trattamento uniforme del materiale.
- Le applicazioni comprendono la sinterizzazione sotto vuoto (miglioramento della densità del materiale) e la ricottura sotto vuoto (riduzione delle tensioni e uniformità della microstruttura).
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Compatibilità con la gestione e le dimensioni dei campioni
- Accoglie campioni di dimensioni fino a 60 mm (2 pollici), adatti per esperimenti su piccola e media scala.
- Il design verticale riduce al minimo la generazione di particelle, mentre i sistemi di trasferimento automatico di wafer/barche aumentano la produttività.
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Sistema avanzato di erogazione del gas
- Dotato di un collettore per l'introduzione di gas di processo/di lavaggio (ad es. Ar, 4%H2 in Ar, N2) a pressioni atmosferiche o sub-atmosferiche.
- La compatibilità del tubo di quarzo garantisce l'inerzia chimica e la stabilità alle alte temperature.
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Controllo della temperatura e dell'atmosfera
- Eccellente distribuzione della temperatura tra le zone, fondamentale per ottenere risultati coerenti nella sintesi dei materiali.
- Supporta la lavorazione sotto vuoto o in atmosfera controllata, consentendo trattamenti sensibili all'ossidazione.
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Componenti chiave e caratteristiche di sicurezza
- Sistema di riscaldamento:Elementi a resistenza elettrica (ad esempio, SiC, MoSi2) per un uso efficiente dell'energia.
- Raffreddamento:Essiccatori per il trasferimento sicuro dei campioni dopo il riscaldamento, per evitare la contaminazione.
- Controllo:I sistemi PID/PLC automatizzano i profili di temperatura e le sequenze di processo.
Queste funzionalità rendono il forno tubolare a 3 zone indispensabile per i laboratori e le industrie che si occupano di sviluppo di materiali avanzati, lavorazione di semiconduttori e trattamenti termici di precisione.Il suo design modulare e la flessibilità dei gas soddisfano le esigenze di ricerca in continua evoluzione, garantendo al contempo la riproducibilità.
Tabella riassuntiva:
| Caratteristica | Descrizione |
|---|---|
| Zone di riscaldamento | Tre zone controllate in modo indipendente per gradienti di temperatura precisi. |
| Dimensioni del campione | Accoglie campioni fino a 60 mm (2 pollici). |
| Erogazione di gas | Supporta Ar, 4%H2 in Ar, N2 a pressioni atmosferiche/sub-atmosferiche. |
| Controllo della temperatura | Eccellente uniformità per una sintesi coerente dei materiali. |
| Applicazioni | Ricottura, CVD, sinterizzazione sotto vuoto e trattamenti sensibili all'ossidazione. |
| Sicurezza e automazione | Sistemi PID/PLC, essiccatori e tubo di quarzo inerte per un funzionamento affidabile. |
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