
CVD & PECVD Furnace
Forno a tubo PECVD a scorrimento con gassificatore liquido Macchina PECVD
Numero articolo : KT-PE12
Il prezzo varia in base a specifiche e personalizzazioni
- Temperatura massima
- 1200℃
- Potenza di uscita del plasma RF
- 5-500W
- Pressione nominale del vuoto
- 10Pa~6x10-4Pa

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Sbloccate la precisione della deposizione di film sottili
Il forno a tubo PECVD a scorrimento KINTEK con gassificatore liquido è un sistema all'avanguardia progettato per la deposizione di film sottili versatile e ad alte prestazioni. Progettato per soddisfare le rigorose esigenze della ricerca e della produzione moderna, combina una sorgente di plasma RF da 500 W, un innovativo forno a scorrimento per cicli termici rapidi, un controllo preciso del flusso di gas e una robusta stazione da vuoto. Che si tratti di elettronica, semiconduttori, ottica o scienza dei materiali avanzati, questo sistema offre risultati e affidabilità eccezionali. KINTEK sfrutta la sua eccezionale esperienza nel campo della ricerca e sviluppo e la sua produzione interna per fornire soluzioni di forno avanzate come questa e offre una forte personalizzazione per soddisfare con precisione i vostri requisiti sperimentali unici.
Caratteristiche e vantaggi principali
Il forno tubolare Slide PECVD con gassificatore liquido PECVD offre numerosi vantaggi per migliorare la ricerca e la produzione:
- Maggiore generazione di energia: L'innovativa struttura a barca in grafite migliora significativamente la potenza dei wafer di celle solari.
- Qualità uniforme delle celle: Elimina efficacemente le differenze di colore nelle celle PECVD tubolari, garantendo risultati uniformi.
- Sorgente di plasma RF versatile: Dispone di una sorgente di plasma RF ad adattamento automatico con un'ampia gamma di potenza di uscita (5-500W) per prestazioni stabili e adattabili a varie applicazioni.
- Ciclo termico rapido: Il sistema di scorrimento della camera del forno consente di riscaldare e raffreddare ad alta velocità, riducendo notevolmente i tempi di lavorazione. La circolazione ausiliaria dell'aria forzata accelera ulteriormente la velocità di raffreddamento.
- Funzionamento automatizzato: Il movimento di scorrimento automatizzato opzionale migliora l'efficienza e riduce l'intervento manuale per semplificare i flussi di lavoro.
- Gestione precisa della temperatura: Il controllo della temperatura programmabile PID garantisce una regolazione accurata della temperatura. Supporta il controllo remoto e centralizzato per una maggiore comodità e flessibilità operativa.
- Controllo accurato del gas: I flussimetri di massa MFC ad alta precisione controllano con precisione i gas di partenza, garantendo un'alimentazione stabile, costante e premiscelata.
- Sistema di vuoto ad alte prestazioni: La flangia per il vuoto in acciaio inox con porte di adattamento multiple si adatta a varie configurazioni di stazioni di pompaggio del vuoto, garantendo un grado di vuoto elevato e una tenuta affidabile.
- Interfaccia facile da usare: Dotato di controller touch screen TFT da 7 pollici CTF Pro, semplifica l'impostazione dei programmi, il funzionamento e consente una facile analisi dei dati storici.
Applicazioni versatili
La macchina Slide PECVD Tube Furnace With Liquid Gasifier PECVD è ideale per un'ampia gamma di applicazioni, tra cui:
- Deposizione chimica da vapore (CVD)
- Deposizione di vapore chimico potenziata da plasma (PECVD)
- Deposizione di film sottili per vari materiali
- Produzione e ricerca di celle solari
- Lavorazione di semiconduttori
- Ricerca e sviluppo sulle nanotecnologie
- Studi sulla scienza dei materiali avanzati
- Ricerca generale e sviluppo in atmosfera controllata
Esplora le nostre configurazioni di sistema
KINTEK offre diverse configurazioni di sistemi CVD per soddisfare le diverse esigenze sperimentali. Di seguito sono riportati alcuni esempi di configurazioni disponibili:




Principio di funzionamento
La macchina PECVD a tubo con gassificatore liquido utilizza un plasma a bassa temperatura per generare una scarica a bagliore nel catodo della camera di processo (vassoio del campione). La scarica a bagliore (o un'altra fonte di calore) aumenta la temperatura del campione a un livello predeterminato. Quindi, vengono introdotte quantità controllate di gas di processo, che subiscono reazioni chimiche e plasma per formare una pellicola solida sulla superficie del campione.
Vantaggi di sicurezza incorporati
- Protezione da sovracorrente e sovratemperatura: Il forno è dotato di funzioni di protezione da sovracorrenti e allarmi di sovratemperatura, che interrompono automaticamente l'alimentazione in caso di superamento dei limiti.
- Rilevamento dei guasti della termocoppia: Una funzione integrata di rilevamento della termocoppia interrompe il riscaldamento e attiva un allarme se viene rilevata una termocoppia rotta o guasta, impedendo un riscaldamento incontrollato.
- Funzione di riavvio in caso di interruzione dell'alimentazione: Il controller PE Pro supporta la funzione di riavvio in caso di interruzione dell'alimentazione, consentendo al forno di riprendere automaticamente il programma di riscaldamento una volta ripristinata l'alimentazione dopo un'interruzione.
Specifiche tecniche
Modello del forno | KT-PE12-60 |
Temperatura massima | 1200℃ |
Temperatura di lavoro costante | 1100℃ |
Materiale del tubo del forno | Quarzo di elevata purezza |
Diametro del tubo del forno | 60 mm |
Lunghezza della zona di riscaldamento | 1x450mm |
Materiale della camera | Fibra di allumina giapponese |
Elemento di riscaldamento | Bobina di filo Cr2Al2Mo2 |
Velocità di riscaldamento | 0-20℃/min |
Coppia termica | Costruire in tipo K |
Regolatore di temperatura | Controllore PID digitale/controllore PID touch screen |
Precisione del controllo della temperatura | ±1℃ |
Distanza di scorrimento | 600 mm |
Unità al plasma RF | |
Potenza di uscita | 5 -500W regolabile con una stabilità di ±1% |
Frequenza RF | 13,56 MHz ±0,005% di stabilità |
Potenza di riflessione | 350W max. |
Corrispondenza | Automatico |
Rumore | |
Raffreddamento | Raffreddamento ad aria. |
Unità di controllo di precisione del gas | |
Misuratore di portata | Misuratore di portata massica MFC |
Canali gas | 4 canali |
Portata |
MFC1: 0-5SCCM O2
MFC2: 0-20SCMCH4 MFC3: 0-100SCCM H2 MFC4: 0-500 SCCM N2 |
Linearità | ±0,5% F.S. |
Ripetibilità | ±0,2% F.S. |
Linea di tubi e valvola | Acciaio inossidabile |
Pressione massima di esercizio | 0,45MPa |
Controllore del flussometro | Controllore digitale a manopola/controllore touch screen |
Unità di vuoto standard (opzionale) | |
Pompa per vuoto | Pompa per vuoto rotativa a palette |
Portata della pompa | 4L/S |
Porta di aspirazione del vuoto | KF25 |
Vacuometro | Vacuometro Pirani/Resistenza al silicone |
Pressione nominale del vuoto | 10Pa |
Unità per alto vuoto (opzionale) | |
Pompa per vuoto | Pompa rotativa a palette+pompa molecolare |
Portata della pompa | 4L/S+110L/S |
Porta di aspirazione del vuoto | KF25 |
Vacuometro | Vacuometro composto |
Pressione nominale del vuoto | 6x10-4Pa |
Le specifiche e le configurazioni di cui sopra possono essere personalizzate |
Contenuto della confezione standard
No. | Descrizione | Quantità |
1 | Forno | 1 |
2 | Tubo di quarzo | 1 |
3 | Flangia per il vuoto | 2 |
4 | Blocco termico del tubo | 2 |
5 | Gancio del blocco termico a tubo | 1 |
6 | Guanto resistente al calore | 1 |
7 | Sorgente di plasma RF | 1 |
8 | Controllo preciso del gas | 1 |
9 | Unità per il vuoto | 1 |
10 | Manuale operativo | 1 |
Personalizzazione e allestimenti opzionali
In KINTEK siamo orgogliosi della nostra profonda capacità di personalizzazione. Siamo in grado di personalizzare il forno a tubo PECVD a scorrimento per soddisfare con precisione i vostri requisiti sperimentali unici. Le configurazioni opzionali disponibili includono:
- Rilevamento e monitoraggio del gas in provetta (ad es. H2, O2)
- Sistemi indipendenti di monitoraggio e registrazione della temperatura del forno
- Porta di comunicazione RS 485 per il controllo remoto del PC e l'esportazione dei dati
- Controllo personalizzato della portata di alimentazione del gas (flussimetri di massa o flussimetri a galleggiante)
- Controllore di temperatura touch screen avanzato con funzioni versatili e di facile utilizzo per l'operatore
- Varie configurazioni di stazioni di pompaggio ad alto vuoto (ad esempio, pompa per vuoto a palette, pompa molecolare, pompa di diffusione)
Collaborate con KINTEK per le vostre esigenze di forni avanzati
Il forno a tubo PECVD a scorrimento di KINTEK è progettato per garantire adattabilità e prestazioni elevate. Sappiamo che la vostra ricerca è unica. Sfruttiamo le nostre forti capacità di personalizzazione per adattare questo sistema alle vostre esatte specifiche. Se avete bisogno di intervalli di temperatura diversi, configurazioni di gas specifiche, funzioni di controllo avanzate o configurazioni di vuoto uniche, il nostro team di esperti è pronto ad assistervi.
Siete pronti a migliorare la vostra ricerca o produzione? Discutete i vostri requisiti con i nostri esperti e ottenete un preventivo personalizzato. Per favore compilare il nostro modulo di contatto e uno dei nostri specialisti vi contatterà a breve per aiutarvi a configurare la soluzione PECVD perfetta!
FAQ
Cos'è E Come Funziona Un Forno A Tubi?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Dei Forni Tubolari Multizona?
Qual è Il Principio Di Una Macchina CVD?
Quali Sono Le Applicazioni Più Comuni Di Un Forno A Tubi Divisi?
Che Cos'è Un Forno A Tubi Verticale?
Quali Sono Le Principali Applicazioni Dei Forni A Tubi?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Dei Forni Tubolari Multizona?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Una Macchina CVD?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Di Un Forno A Tubo Diviso?
Quali Sono Le Applicazioni Di Un Forno A Tubi Verticali?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Tubi?
Come Funziona Un Forno Tubolare Multizona?
Quali Sono Le Applicazioni Di Una Macchina CVD?
Come Funziona Un Forno A Tubo Diviso?
Quali Sono I Vantaggi Di Un Forno Tubolare Verticale?
Quali Tipi Di Forni Tubolari Sono Disponibili?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Tubi Multizona?
Quali Sono Le Caratteristiche Principali Di Una Macchina CVD?
Quali Sono I Vantaggi Dell'utilizzo Di Un Forno A Tubi Divisi?
Come Funziona Un Forno A Tubo Verticale?
Quali Intervalli Di Temperatura Possono Raggiungere I Forni A Tubo?
Quali Sono I Tipi Di Forni Tubolari Multizona Disponibili?
Quali Tipi Di Macchine CVD Sono Disponibili?
Quale Temperatura Può Raggiungere Un Forno A Tubo Diviso?
Quali Tipi Di Forni Tubolari Verticali Sono Disponibili?
I Forni Tubolari Possono Operare In Atmosfere Diverse?
Perché Il Design Diviso è Vantaggioso In Un Forno A Tubi?
Perché Scegliere Un Forno Tubolare Verticale Rispetto A Uno Orizzontale?
Cosa Rende Speciali I Forni Tubolari KINTEK?
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